双侧滑轨式快速退火炉

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简要描述：双侧滑轨式快速退火炉1200℃主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长。

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详细介绍

    双侧滑轨式快速退火炉1200℃

    主要用途：高温快速热处理退火炉主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长。

    双侧滑轨式快速退火炉1200℃

    产品用途：

    高温快速热处理退火炉主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长，其它快速热处理工艺。

    产品结构：

    1、采用进口钨灯管为发热元件，升温速度高达200℃/s;

    2、炉膛材料采用进口陶瓷纤维，内有进口氧化铝涂层，抗热冲击；

    3、保护管采用高纯石英管，可冲入多种气体；

    4、石英管两端采用不锈钢密封法兰，耐高温、耐腐蚀；

    5、滑轨采用铝合金*滑道；

    6、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度；

技术参数
产品名称	单位	型号
产品名称	单位	JZ-5-10	JZ-6-10	JZ-7-10
额定功率	kw	9	9	9
额定电压	v	220	220	220
温度	℃	1000	1000	1000
工作温度	℃	≤950	≤950	≤950
相数	相	三	三	三
加热区	mm	350	350	350
石英管	直径	Φ50	Φ60	Φ70/80
石英管	长度	L=1300	L=1300	L=1300
气体流量	L/min	0~7	0~7	0~7
炉膛材料		进口纤维	进口纤维	进口纤维
滑轨长度	mm	1350	1350	1350
真空度	可选机械泵（6.67pa）或扩散泵（6.67*10-2）
标配件	高温钩，高温堵头，石英舟，高温手套。

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