PECVD管式炉炉体及炉膛结构

PECVD管式炉设计和采用先进的技术是炉体外观新颖、结构合理。外壳采用国标钢材，其外壳喷塑具有耐温、耐久、耐氧化、耐酸、耐缄等优点；精心搭配颜色是产品美观大方和耐用！炉膛材料全部采用进口摩根纤维制作而成，炉膛是几块耐火纤维块拼装而成，大大避免了急冷急热裂缝的现象管式电炉发热元件选用。

 

硅钼棒（分布在炉膛的左右）

硅钼棒电热元件是一种以硅化钼为基础的电阻发热元件。烧结的硅化钼制品在氧化气氛下加热到高温，其表面生成一层致密的石英玻璃膜，它可保持制品不在氧化。因此硅钼棒元件具有*的高温抗氧化性。在氧化气氛下高使用温度为1750℃。硅钼棒元件的电阻不随使用时间的长短而改变（电阻随温度的升高而增大），也就是不老化，因此新旧元件可以混合使用。硅钼棒元件的机械性制和其他陶瓷制品一样，在常温下属于脆性材料容易断裂，但使用得当和安装合理是可以避免的。

 

PECVD管式炉硅碳棒（分布在炉膛的左右或者四周）

碳棒是选用绿化碳化硅材料为主要原料，经轻加工制呸、高温硅化、在结晶而成的棒状的非金属高温电热元件。该元件与金属电热元件相比，具有使用温度高、抗氧化、耐腐蚀、寿命长、变形微、安装维修方便等优点。硅碳棒具有较大的比电阻，在空气中加热，发热部表面温度可以达到1450℃；从室温到800℃为负值，800℃以上为正值特性曲线。硅碳棒具有良好的化学稳定性，酸对其无作用，但碱和碱土金属氧化物在一定的温度条件下对其有侵蚀作用。

 

高温下，水蒸气、氢气、卤素、硫等对其也有氧化和侵蚀作用。为炉温和棒承受负荷均匀，安装前必须进行配阻，保持电阻一致±10%；电炉长期使用过程中，个别棒由于其它原因而损坏需要更换时，要根据当时阻值的增长情况，选补阻值适宜的棒，不可任取新棒更换。若棒损坏的较多或阻值增长过大，无法达到达到所需的炉温时更换成新棒。换下来的棒重新测量其电阻值。